Авторизация
Забыли пароль? Введите ваш е-мейл адрес. Вы получите письмо на почту со ссылкой для восстановления пароля.
После регистрации вы сможете задавать вопросы и писать свои ответы, получая за это бонусы. Все остальные функции на сайте доступны без регистрации.
Вы должны войти или зарегистрироваться, чтобы добавить ответ и получить бонусы.
Литография в микроэлектронике — это процесс создания микроэлектронных устройств, таких как интегральные схемы (микрочипы), путем переноса образца с помощью фотошаблона на поверхность полупроводникового материала.
Основные этапы литографии включают в себя:
1. Нанесение фоточувствительного слоя на поверхность материала.
2. Экспозиция фотошаблона на фоточувствительном слое с использованием ультрафиолетового (УФ) света или электронного луча.
3. Разработка фоточувствительного слоя для удаления ненужных областей.
4. Травление или осаждение материала в областях, где требуется создание структуры.
5. Повторение процесса для создания сложных многоуровневых структур.
Литография является одной из ключевых технологий в производстве полупроводниковых устройств и позволяет создавать микросхемы с высокой степенью интеграции и точности. Она играет важную роль в развитии современной электроники и микроэлектроники.